特許
J-GLOBAL ID：200903071741273900

固体撮像装置およびその駆動方法

発明者：
浅海 政司

浅海 政司 について


出願人/特許権者：
松下電子工業株式会社

松下電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-185891
公開番号（公開出願番号）：特開2000-022134
出願日： 1998年07月01日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 半導体基板上における垂直方向の光電変換部間に形成される配線の本数を少なくすることにより、光電変換部の面積が大きく感度が良好な固体撮像装置を提供する。【解決手段】 半導体基板10上に複数の光電変換部12が行列状に配置され、光電変換部12がなす各列に隣り合うように光電変換部12からの信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部が配置された固体撮像装置であって、前記垂直電荷転送部が、光電変換部12の各々に対応する第1の転送電極14aと第2の転送電極13とを含む転送電極群を備えており、第1の転送電極14は各々が独立した島状に形成され、第1の転送電極14a同士の電気的な接続の少なくとも一部が、前記垂直電荷転送部上に層間絶縁膜15を介して形成された金属遮光膜16を介してなされることとした。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に複数の光電変換部が行列状に配置され、前記光電変換部がなす各列に隣り合うように前記光電変換部からの信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部が配置された固体撮像装置であって、前記垂直電荷転送部が、前記光電変換部の各々に対応する第1の転送電極と第2の転送電極とを含む転送電極群を備えており、前記第1の転送電極は各々が独立した島状に形成され、前記第1の転送電極同士の電気的な接続の少なくとも一部が、前記垂直電荷転送部上に層間絶縁膜を介して形成された金属遮光膜を介してなされていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 29/762 ,  H01L 21/339 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H01L 29/76 301 A ,  H04N 5/335 F ,  H01L 27/14 B
Fターム (22件)：
4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118DA03 ,  4M118DA18 ,  4M118DA23 ,  4M118DB06 ,  4M118DB07 ,  4M118DB08 ,  4M118DB11 ,  4M118FA06 ,  4M118FA35 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  5C024AA00 ,  5C024CA12 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024GA11 ,  5C024JA21
引用特許：
審査官引用 (3件)

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