特許
J-GLOBAL ID：200903002819897970

固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
神戸 秀夫

神戸 秀夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-221981
公開番号（公開出願番号）：特開2006-041369
出願日： 2004年07月29日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】受光部の周縁部での入射光の遮りを低減し、かつ、大画角化や高速駆動化を図ることができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】1層のポリシリコンにより第1転送電極3aと第2転送電極3bを形成する単層転送電極構造を採用している。そして、水平方向に連結した第1転送電極3a上において、水平方向に延在する2本のシャント配線4a,4bを形成し、転送チャネル2上で、第1転送電極3aおよび第2転送電極3bに接続させている。水平方向に延在する低抵抗のシャント配線4a,4bを通じて、転送チャネル2上の第1転送電極3aおよび第2転送電極3bに例えば4相の転送パルスφV1〜φV4が供給される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水平方向および垂直方向に配置された複数の受光部と、 前記受光部間に配置された、垂直方向に延びる転送チャネルと、 前記転送チャネル上に配置され、前記受光部間を通って水平方向に連結された第1転送電極と、 前記転送チャネル上に前記第1転送電極と同一の層で配置された第2転送電極と、 前記第1転送電極上において水平方向に延在し、前記第1転送電極および前記第2転送電極よりも低い抵抗をもち、転送電極の本数に相当する低抵抗配線とを有し、 前記低抵抗配線は、各転送チャネル上の前記第1転送電極および前記第2転送電極に接続部を介して接続された 固体撮像装置。
IPC (1件)：
H01L 27/148
FI (1件)：
H01L27/14 B
Fターム (18件)：
4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA12 ,  4M118BA13 ,  4M118CA04 ,  4M118DA03 ,  4M118DA18 ,  4M118DA20 ,  4M118DB05 ,  4M118DB07 ,  4M118DB08 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (9件)
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