特許
J-GLOBAL ID：200903082615044891

ウェハ用の吸着チャック

発明者：
伊藤 洋之

伊藤 洋之 について


出願人/特許権者：
株式会社ビービーエス金明

株式会社ビービーエス金明 について


代理人 (1件)： 松田 忠秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-125418
公開番号（公開出願番号）：特開2005-311040
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】ウェハを安全に吸着して保持する。【解決手段】円形の吸着面11を有する本体10と、吸着面11に付設する吸着パッド21とを備え、吸着面11には、中央の連結孔12を介して真空源に連通させる放射状の凹溝15、15...を形成し、吸着パッド21には、周方向の同位置で区切る同心円状の開口部21a、21a...を形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
円形の吸着面を有する本体と、前記吸着面に付設する吸着パッドとを備えてなり、前記吸着面には、中央の連結孔を介して真空源に連通させる放射状の凹溝を形成し、前記吸着パッドには、前記各凹溝の相対角度相当の中心角を隔てて周方向の同位置で区切る同心円状の開口部を形成することを特徴とするウェハ用の吸着チャック。
IPC (2件)：
H01L21/304 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/304 622H ,  H01L21/304 621E ,  H01L21/68 P
Fターム (4件)：
5F031CA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031MA22
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ウエハ加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-055024   出願人：住友電気工業株式会社
  • 実開平7-31245号公報
審査官引用 (5件)
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