積層型圧電アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167746
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】駆動時における応力集中を最小限に抑えることで、破壊原因となるクラックの発生を防止し、繰り返し駆動における寿命が長い積層型圧電アクチュエータを提供する。【構成】複数の圧電セラミック層と複数の内部電極層とを交互に積層して柱状積層体を形成するとともに、圧電セラミック層を挟持する内部電極層を第1内部電極層および第2内部電極層とから構成し、第1内部電極層同士を電気的に接続する第1外部電極および第2内部電極層同士を電気的に接続する第2外部電極を柱状積層体の外周面にそれぞれ螺旋状に形成してなるものである。

請求項（抜粋）：

複数の圧電セラミック層と複数の内部電極層とを交互に積層して柱状積層体を形成するとともに、前記圧電セラミック層を挟持する内部電極層を第1内部電極層および第2内部電極層とから構成し、前記第1内部電極層同士を電気的に接続する第1外部電極および前記第2内部電極層同士を電気的に接続する第2外部電極を前記柱状積層体の外周面にそれぞれ螺旋状に形成してなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-028977
積層型圧電素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-017625 出願人：株式会社村田製作所
積層型圧電素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-105169 出願人：株式会社村田製作所

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