特許
J-GLOBAL ID：200903082689879782
欠陥データ処理及びレビュー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-326123
公開番号（公開出願番号）：特開2007-134498
出願日： 2005年11月10日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：
【課題】外観検査装置によって検出された欠陥をレビュー装置で確実に捕らえることができるようにする。【解決手段】レビュー装置での欠陥観察条件を外観検査装置から出力された欠陥特徴量によって可変し、最適化しながらレビューする。例えば、欠陥の大きさに応じて観察倍率を可変し、最大グレーレベル差に応じてフレーム加算数を可変する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
外観検査装置から、被検体を複数回検査して得た欠陥の座標及び特徴量に関する複数の情報を取得する工程と、
前記欠陥の座標を用いて、前記複数の情報の中から、同一の欠陥に対する情報を判別する工程と、
レビューすべき欠陥について、当該欠陥の座標と共に前記特徴量に関する情報をレビュー装置に出力する工程と、
前記レビュー装置において、前記欠陥の座標と特徴量に関する情報を用いて欠陥の画像を取得する工程と、
を有することを特徴とする欠陥データ処理方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 J
, H01L21/66 Z
, G06T1/00 305A
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106BA04
, 4M106CA38
, 4M106DB07
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 4M106DJ18
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057BA29
, 5B057CD05
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC04
, 5B057DC22
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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