特許

J-GLOBAL ID：200903082698369673

イオン化質量分析計,分析方法およびそれを用いた計測システム

発明者： 坂入 実 ,  橋本 雄一郎 ,  山田 益義 ,  管 正男 ,  小島 恭子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266044
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093461
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】試料を高効率にイオン化するコロナ放電を用いたイオン源を提供する。【解決手段】高電圧を印加することにより針電極先端に生成するコロナ放電において、該コロナ放電の領域に対する試料の導入方向とコロナ放電によりイオンを引き出す方向をほぼ対向させることにより、イオン生成効率を向上させる。

請求項（抜粋）：

電圧を印加して放電により試料をイオン化するイオン源と、前記イオン源からのイオンの質量を分析する質量分析部と、を備えたイオン化質量分析計において、前記イオン源の試料の導入方向は放電の発生する方向と異なる方向から供給される構成であることをことを特徴とするイオン化質量分析計。

IPC (5件)：

H01J 49/10 ,  G01N 27/62 ZAB ,  G01N 30/72 ,  H01J 49/04 ,  H01J 49/06

FI (5件)：

H01J 49/10 ,  G01N 27/62 ZAB X ,  G01N 30/72 C ,  H01J 49/04 ,  H01J 49/06

Fターム (16件)：

5C038EE01 ,  5C038EE02 ,  5C038EF03 ,  5C038EF04 ,  5C038EF12 ,  5C038FF01 ,  5C038FF07 ,  5C038FF10 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH05 ,  5C038GH08 ,  5C038GH11 ,  5C038GH13 ,  5C038JJ02 ,  5C038JJ06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 改良したシース液を用いる多層フロー電気噴霧イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-124007   出願人：フィニガンコーポレイション
• 大気圧イオン化質量分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-099100   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-204972   出願人：株式会社日本エイピーアイ