特許
J-GLOBAL ID：200903092939385867

質量分析装置

発明者：
溝上 員章

溝上 員章 について


出願人/特許権者：
株式会社日本エイピーアイ

株式会社日本エイピーアイ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-204972
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022679
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 イオン化部、差動排気部、及び質量分析部を有する質量分析装置において、イオン化部に圧力制御手段を備え、イオン分子反応の反応率を安定化し、分析精度を向上させる。【構成】 イオン化部にはガス流入口4、ガス流出口5の他に流量調節バルブ20を備えた第2のガス流出口21と圧力検出器22を備え、イオン化部1の圧力が設定値より高くなった場合にはガス流出口21よりガスを排出して圧力を一定に保つようになっている。また、設定値を大気圧以上の高圧に保つことができるようにガス流出口5には絞り23が入っている。
請求項（抜粋）：
イオン化部、差動排気部、及び質量分析部を有する質量分析装置において、イオン化部に圧力制御手段を備えることを特徴とする質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/10 ,  H01J 49/24 ,  G01N 27/62
FI (3件)：
H01J 49/10 ,  H01J 49/24 ,  G01N 27/62 F
引用特許：
審査官引用 (4件)
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