特許
J-GLOBAL ID：200903082715147590
コンタクトプローブおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-164407
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343397
出願日： 2000年06月01日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 狭ピッチ化に対応すべく、より微細なコンタクトプローブおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 コンタクトプローブは、リソグラフィの工程とめっきの工程を含む製造方法によって製作され、被検査回路に接触させるためのプランジャ部1と、スプリング部2と、リード線接続部3とが一定の平面形状に対して上記平面形状に垂直な板厚方向に均一に厚みをもたせた立体形状となるように一体形成されている。好ましくは、スプリング部2と平行にガイド部6も一体形成されている。さらに好ましくは、板ばねからなるスプリング部2の単位形状ごとにストッパ部7も含む形で一体形成されている。
請求項（抜粋）：
被検査回路に接触させるためのプランジャ部と、一端において前記プランジャ部を支持するスプリング部と、前記スプリング部の他端をリード線に電気的に接続するリード線接続部とを備え、前記プランジャ部と前記スプリング部と前記リード線接続部とが一体形成された、コンタクトプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/067 C
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AB01
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G011AA02
, 2G011AA15
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB05
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AC14
, 2G011AC33
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106BA01
, 4M106DD03
