特許
J-GLOBAL ID：200903082730174391

可燃性ガスセンサ

発明者：
高松 修司

高松 修司 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-140215
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292387
出願日： 2007年05月28日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】 全体の小型化、コストダウンを図りつつ、測定対象ガスと酸化触媒粒子との接触断面積の増大及び酸化反応熱の伝達性の効率化を図るとともに、サーモパイルに熱的、力学的なストレスを与えないようにして測定感度及び測定精度の著しい向上を実現できる可燃性ガスセンサを提供する。 【解決手段】 Si基板2の上面に、サーモパイル4が形成され、このサーモパイル4の温接点部表面の絶縁膜5a上に、有機シラン化合物の有機官能と絶縁膜5aとの結合により自己組織化膜6を生成し、この自己組織化膜6の表面にPt等の酸化触媒粒子7を化学結合により担持させてなる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板面上に測温素子を形成し、この測温素子で測定対象ガスの発熱量を検出することにより、測定対象ガス中の可燃性ガスの濃度を測定するように構成されている可燃性ガスセンサであって、 前記測温素子の感熱部表面の絶縁薄膜上に、シランカップリング剤に代表される有機シラン化合物の有機官能基と前記絶縁膜との結合により自己組織化された膜を生成し、この自己組織化膜の表面に酸化触媒粒子を化学結合により担持させていることを特徴とする可燃性ガスセンサ。
IPC (2件)：
G01N 25/32 ,  G01N 25/30
FI (2件)：
G01N25/32 ,  G01N25/30
Fターム (7件)：
2G040AA03 ,  2G040AB18 ,  2G040BA23 ,  2G040BB09 ,  2G040CB04 ,  2G040DA03 ,  2G040DA22
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 触媒燃焼式ガスセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215905   出願人：三菱マテリアル株式会社
  • 可燃性ガスセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-252948   出願人：株式会社堀場製作所

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