特許
J-GLOBAL ID：200903082842493848

ワーク直線移動装置

発明者：
小黒 謙治

小黒 謙治 について

, 
佐々木 正彦

佐々木 正彦 について

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渡辺 賢二

渡辺 賢二 について


出願人/特許権者：
三井造船株式会社

三井造船株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249711
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072247
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルなどの染物質の発生を少なくする。【解決手段】 直線移動装置10は、ワーク把持ユニット12の下側と上側とに駆動巻胴14と従動巻胴16とが配設してある。これらの巻胴14、16とワーク把持ユニット12との間には、駆動ベルト44、46が張設してある。駆動巻胴14、従動巻胴16は、周長がワーク把持ユニット12の移動距離より長くなっていて、ワーク把持ユニット12を下限または上限に移動させた際に、巻胴14、16に巻き取られた駆動ベルト44、46が重ならないようにしてある。駆動巻胴14と従動巻胴16との間には、同期ベルト60が駆動ベルト44、46と反対方向に巻き掛け手張設してあって、駆動巻胴14が駆動ベルト44を繰り出す方向に回転すると、同期ベルト60が駆動巻胴14に巻き取られて従動巻胴16を駆動巻胴14と同方向に回転させ、駆動ベルト46を従動巻胴46に巻き取ってワーク把持ユニット12を上昇させる。
請求項（抜粋）：
真空容器内において、ワーク支持部と複数の巻胴とをベルトにより、その端部を固定して連結し、前記ベルトを前記巻胴に巻き取り、巻き戻すことにより前記ワーク支持部を直線移動させることを特徴とするワーク直線移動装置。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/302 B
Fターム (13件)：
5F004AA16 ,  5F004BA03 ,  5F004BA11 ,  5F004BB18 ,  5F004BB24 ,  5F004BC06 ,  5F004BD07 ,  5F004CA05 ,  5F004DB00 ,  5F031CA05 ,  5F031GA51 ,  5F031PA26 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-265461   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 特開昭50-118193
  • 真空処理方法および真空処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-152242   出願人：テル・バリアン株式会社
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