特許
J-GLOBAL ID：200903082851792319
走査プロ-ブ顕微鏡の測定方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-020578
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316243
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーの交換に伴う初期設定が容易な走査プローブ顕微鏡の測定方法および装置を提供する。【解決手段】 試料を強制振動させながらカンチレバーをZ粗動させ、カンチレバーの試料に対する接触圧が所定の大きさになった時に、Z粗動を終了させる。強制振動周波数は、カンチレバーと試料との接触により生じる新たな共振周波数又はシフト共振周波数としてもよい。次いで、XY走査をして、試料表面にカンチレバーを軽く接触しながら測定する。カンチレバーを強制振動させる装置として、所定の周波数の信号を出力する発振器からの出力信号に応答する多層ピエゾを用いることができる。
請求項（抜粋）：
試料の表面にカンチレバーをあてて該試料の表面の形状を測定する走査プローブ顕微鏡の測定方法であって、前記カンチレバーおよび前記試料の各固有の共振周波数の影響が実質的にない周波数で前記試料を振動させた状態で、前記カンチレバーを試料表面に軽く接触させながら該試料表面の形状を測定するようにしたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G12B 1/00 601
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, G12B 1/00 601 G
