特許
J-GLOBAL ID：200903082910088124

ノズル基板、ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置

発明者：
原田 光明

原田 光明 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-020351
公開番号（公開出願番号）：特開2009-178948
出願日： 2008年01月31日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
【課題】材料費を抑え、また撥水性処理を簡便にできるノズル基板、ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴を吐出するノズル部11aと、このノズル部より断面積が大きくノズル部と同軸上に設けられた導入部11bとを少なくとも備えたノズル孔11を複数備えたノズル基板1であって、ノズル孔が多結晶シリコン基板を材料に用いて形成され、この多結晶シリコン基板の表面である吐出面に0.1〜5.0μmの微小凹凸を有するものとする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズル部と、前記ノズル部より断面積が大きく前記ノズル部と同軸上に設けられた導入部とを少なくとも備えたノズル孔を複数備えたノズル基板であって、 前記ノズル孔が多結晶シリコン基板を材料に用いて形成され、前記多結晶シリコン基板の表面である吐出面に0.1〜5.0μmの微小凹凸を有することを特徴とするノズル基板。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/135
FI (2件)：
B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103N
Fターム (15件)：
2C057AF34 ,  2C057AF43 ,  2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG04 ,  2C057AG07 ,  2C057AG54 ,  2C057AP13 ,  2C057AP32 ,  2C057AP56 ,  2C057AP60 ,  2C057AP61 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15
引用特許：
出願人引用 (2件)

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