特許

J-GLOBAL ID：200903083127189380

プローブユニットおよび検査用ヘッド

発明者： 近藤 基康 ,  佐久間 フクヨ ,  浦川 陽一 ,  横山 義人 ,  比内 昌利
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151847
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321100
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 信号用プローブ針と電力用プローブ針との間の電気的干渉を防止することにある。【解決手段】 プローブユニットは、平板状の被検査体の表面に沿う第1の方向へ伸びる縁部を有る支持体と、前記縁部に配置されかつ前記第1の方向および前記被検査体の表面と直角の第2の方向の両方向に交差する第3の方向へ伸びる複数のプローブ針とを含む。前記複数のプローブ針は、前記第2の方向に間隔をおいた軸線を有する少なくとも第1および第2のグループに分けて配置されている。

請求項（抜粋）：

平板状の被検査体の表面に沿う第1の方向へ伸びる縁部を有る支持体と、前記縁部に配置されかつ前記第1の方向および前記被検査体の表面と直角の第2の方向の両方向に交差する第3の方向へ伸びる複数のプローブ針とを含み、前記複数のプローブ針は、前記第2の方向に間隔をおいた軸線を有する少なくとも第1および第2のグループに分けて配置されている、プローブユニット。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プローブカード及び検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-349498   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• プローブボード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-302380   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 特開平3-250641