特許
J-GLOBAL ID：200903083258912940
リソグラフィー用ペリクル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157565
公開番号（公開出願番号）：特開平9-319071
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ペリクルをケースに収納する際やペリクルを露光原版に装着する際の収納位置または装着位置の精度が高く、ペリクルをハンドリング治具で挟んでも異物の発生が起こらないリソグラフィー用ペリクルを提供する。【解決手段】 フレーム端面上の粘着剤層を保護するための保護シートが、フレームの四つの外側面のうちの少なくとも二つの対向する外側面の外方に突出していない、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクル。
請求項（抜粋）：
フレーム端面上の粘着剤層を保護するための保護シートが、フレームの四つの外側面のうちの少なくとも二つの対向する外側面の外方に突出していない、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクル。
引用特許：
前のページに戻る
