特許
J-GLOBAL ID：200903083276766110
光画像計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-074409
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265440
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 干渉光の背景光からなるヘテロダイン信号の直流成分を有効に求めることが可能な光画像計測装置を提供する。【解決手段】 光画像計測装置1は、光源2からの光ビームをビームスプリッタ5で信号光Sと参照光Rに分割し、周波数シフタ6で参照光Rの周波数をシフトさせ、被測定物体Oを経由した信号光Sと鏡7で反射された参照光Rとをビームスプリッタ5で重畳させて干渉光Lを生成する干渉光学系と、干渉光Lを干渉光L1、L2、L3に分割するビームスプリッタ11、12と、各干渉光の強度を所定の周期で変調する強度変調手段であるシャッタ31、32、33と、強度変調された各干渉光を受光して電気信号を出力するCCD21、22、23と、出力された電気信号を基に干渉光Lの背景光に対応する直流成分の強度を演算する演算手段である信号処理部60とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光ビームを出射する光源と、この光源からの光ビームを、被測定物体を経由する信号光と所定の参照物体を経由する参照光とに分割し、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせた後に、前記被測定物体を経由した前記信号光と前記参照物体を経由した前記参照光とを互いに重畳させて干渉光を生成する干渉光学系とを含んでおり、前記干渉光に基づいて前記被測定物体の画像を形成する光画像計測装置であって、
前記干渉光の強度を所定の周波数にて変調する強度変調手段と、
前記強度変調された前記干渉光を受光し、電気信号に変換して出力する光検出手段と、
前記光検出手段により出力された前記電気信号に基づいて前記干渉光の背景光からなる直流成分の強度を演算する演算手段と、
を備えていることを特徴とする光画像計測装置。
IPC (4件)：
G01N21/17
, A61B10/00
, G01B11/24
, G01J9/04
G01N21/17 630
, A61B10/00 E
, G01J9/04
, G01B11/24 D
2F065AA45
, 2F065AA49
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF31
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ19
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065NN06
, 2F065NN08
, 2F065UU07
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059BB13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059EE11
, 2G059FF01
, 2G059GG02
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ15
, 2G059JJ18
, 2G059JJ22
, 2G059JJ23
, 2G059JJ30
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM03
, 2G059MM10
, 2G059MM11
, 2G059PP04
