特許
J-GLOBAL ID:200903035864982801
光計測装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-239883
公開番号(公開出願番号):特開2001-066247
出願日: 1999年08月26日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 2次元検出器アレイによる光ヘテロダイン測定を有効に行うことのできる光計測装置を提供する。【解決手段】 光計測装置において、光ビームを出射する光源101と、この光源から出射された光ビームを、被測定検体111が配置される被測定検体の配置位置を経由する信号光と、この被測定検体の配置位置を経由する光路とは異なる光路を経由する参考光とに二分するとともに、前記被測定検体の配置位置を経由した後の信号光と、前記異なる光路を経由した参考光とを互いに重畳することにより前記信号光と前記参照光とが干渉した干渉光を生成する干渉光学系と、前記干渉光学系が、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数を相対的にシフトさせる周波数シフタ103,109と、前記干渉光学系が、前記信号光と前記参照光のうち少なくとも一方の光路上に光を周期的に遮断する光学装置とを備え、前記光学装置の遮断周波数を前記信号光と前記参照光の間の周波数差に等しくなるようする。
請求項(抜粋):
(a)光ビームを出射する光源と、(b)該光源から出射された光ビームを、被測定検体が配置される被測定検体の配置位置を経由する信号光と、前記被測定検体の配置位置を経由する光路とは異なる光路を経由する参考光とに二分するとともに、前記被測定検体の配置位置を経由した後の信号光と、前記異なる光路を経由した参考光とを互いに重畳することにより前記信号光と前記参照光とが干渉した干渉光を生成する干渉光学系と、(c)該干渉光学系が、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数を相対的にシフトさせる周波数シフタと、(d)前記干渉光学系が、前記信号光と前記参照光のうち少なくとも一方の光路上に光を周期的に遮断する光学装置とを備え、(e)前記光学装置の遮断周波数を前記信号光と前記参照光の間の周波数差に等しくなるようにしたことを特徴とする光計測装置。
IPC (6件):
G01N 21/17 630
, A61B 10/00
, G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01J 9/04
FI (6件):
G01N 21/17 630
, A61B 10/00 E
, G01B 9/02
, G01B 11/30 H
, G01J 9/04
, G01B 11/24 D
Fターム (53件):
2F064AA09
, 2F064BB00
, 2F064EE04
, 2F064EE05
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG47
, 2F064GG53
, 2F064GG55
, 2F064GG70
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ05
, 2F065AA49
, 2F065AA52
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG21
, 2F065GG22
, 2F065HH13
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL03
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL46
, 2F065LL57
, 2F065NN06
, 2F065NN08
, 2F065PP12
, 2F065QQ16
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059JJ17
, 2G059JJ30
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM06
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