特許
J-GLOBAL ID：200903083278490040

極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びLPP型極端紫外光源装置

発明者：
遠藤 彰

遠藤 彰 について

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有我 達也

有我 達也 について

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菅沼 崇

菅沼 崇 について

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三浦 泰祐

三浦 泰祐 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

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ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (3件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-230619
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135298
出願日： 2005年08月09日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するEUV光源装置用ドライバーレーザを実現する。 【解決手段】 このドライバーレーザは、出力されるレーザ光を短パルス化する手段と、エネルギーピーク値を示す発振スペクトルの発振を抑制する手段とを有する短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器と、該短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器から出力された短パルス化されたレーザ光を入力し、増幅して出力する少なくとも1台の増幅器を含む。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
出力されるレーザ光を短パルス化する手段と、エネルギーピーク値を示す発振スペクトルの発振を抑制する手段とを有する短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器と、 前記短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振から出力された短パルス化されたレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも1つの増幅器と、 を具備する極端紫外光源装置用ドライバーレーザ。
IPC (4件)：
H01S 3/10 ,  H01L 21/027 ,  H05G 2/00 ,  H01S 3/227
FI (5件)：
H01S3/10 Z ,  H01L21/30 515A ,  H01L21/30 531S ,  H05G1/00 K ,  H01S3/22 M
Fターム (21件)：
4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AA17 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  5F046CA08 ,  5F046DA01 ,  5F046GC03 ,  5F071AA05 ,  5F071HH07 ,  5F071HH09 ,  5F071JJ07 ,  5F071JJ10 ,  5F172AD05 ,  5F172NN16 ,  5F172NN23 ,  5F172NQ43 ,  5F172NQ44 ,  5F172NQ46 ,  5F172NQ48 ,  5F172ZZ02
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 米国特許6,697,408(図5)
審査官引用 (9件)
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