特許
J-GLOBAL ID:200903083290524502
メモリセル装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-581694
公開番号(公開出願番号):特表2002-529885
出願日: 1999年09月23日
公開日(公表日): 2002年09月10日
要約:
【要約】本発明において、メモリセル装置のメモリセルはそれぞれ選択トランジスタ(AT)、メモリトランジスタ(ST)及び強誘電体キャパシタを有する。選択トランジスタ(AT)及びメモリトランジスタ(ST)は直列に結線している。強誘電体キャパシタはメモリトランジスタ(ST)の制御電極(GS)と選択トランジスタ(AT)の第1の端子との間で接続されている。
請求項(抜粋):
メモリセル装置において、 半導体基板(1)に集積されて多数のメモリセルが設けられており、該メモリセルは選択トランジスタ(AT)、メモリトランジスタ(ST)及び強誘電体キャパシタ(KE1、FS、KE2)を有し、 前記の選択トランジスタ(AT)及びメモリトランジスタ(ST)は、前記選択トランジスタ(AT)の第1の端子(AA1)を介して直列に結線されており、 前記強誘電体キャパシタ(KE1、FS、KE2)は、前記選択トランジスタ(AT)の第1の端子(AA1)とメモリトランジスタ(ST)の制御電極(GS)との間に接続されていることを特徴とする、メモリセル装置。
IPC (5件):
G11C 11/22 501
, H01L 21/8247
, H01L 27/105
, H01L 29/788
, H01L 29/792
FI (3件):
G11C 11/22 501 A
, H01L 27/10 444 Z
, H01L 29/78 371
Fターム (15件):
5F083FR01
, 5F083FR05
, 5F083HA02
, 5F083HA06
, 5F083JA14
, 5F083JA15
, 5F083JA17
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F101BA62
, 5F101BB02
, 5F101BD02
, 5F101BD22
, 5F101BD30
引用特許:
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