特許

J-GLOBAL ID：200903083317005634

複数のターボ分子ポンプを備えた装置およびポンプシステム

発明者： 山口 均
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216289
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028072
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 ターボ分子ポンプを備える装置において、起動時の最大消費電力を低減することができる装置の提供。【解決手段】 複数のターボ分子ポンプTMP1〜TMP3を備える装置において、時刻t11,t21,t31にターボ分子ポンプTMP1,TMP2,TMP3の順に起動を開始する。ターボ分子ポンプTMP1〜TMP3の起動動作時間は全て等しいので、定格運転移行直前の消費電力のピークP1,P2,P3の発生時刻がずれて、合計の消費電力のピーク値W3は従来より低減される。その結果、装置側の電源容量を従来よりも低くすることができ、装置のコスト低減を図ることができる。

請求項（抜粋）：

複数のターボ分子ポンプの起動時の消費電力ピーク発生時刻が各ターボ分子ポンプ毎にそれぞれ異なるように、前記各ターボ分子ポンプの起動開始時刻および起動動作時間の少なくとも一方を制御する制御装置を設けたことを特徴とする複数のターボ分子ポンプを備えた装置。

IPC (3件)：

F04B 49/06 ,  F04B 49/06 331 ,  F04D 19/04

FI (3件)：

F04B 49/06 331 A ,  F04D 19/04 H ,  F04B 49/02 331 B

Fターム (21件)：

3H031DA02 ,  3H031EA00 ,  3H031EA11 ,  3H031FA00 ,  3H031FA37 ,  3H031FA40 ,  3H045AA06 ,  3H045AA09 ,  3H045AA14 ,  3H045AA22 ,  3H045AA26 ,  3H045AA31 ,  3H045BA03 ,  3H045BA32 ,  3H045CA30 ,  3H045DA01 ,  3H045DA31 ,  3H045DA39 ,  3H045DA47 ,  3H045EA34 ,  3H045EA35

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ターボ分子ポンプ、及びターボ分子ポンプシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-170051   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 軸受型ターボ分子ポンプの駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-299970   出願人：日新電機株式会社
• 特公昭29-006938