圧電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-330577
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】圧電アクチュエ-タの効率を改善し、振動振幅を向上させること。【解決手段】エポキシ接着剤などの樹脂を用いることなく、金属振動体1に対し圧電体2をガスデポジション法を用いて形成する。密着性およびPZTの結晶性向上のため、チタン、窒化チタンまたは酸化チタンからなる中間層3を設ける。

請求項（抜粋）：

アルミニウム、アルミニウム合金、またはステンレス鋼などチタン以外の金属からなる金属振動体と接着剤などの樹脂層を含むことなくガスデポジション法により形成された圧電体層を有し、交流電圧を印加された圧電体の伸縮作用により振動動作を生じることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (2件)：

H01L 41/08 C , H02N 2/00 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

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