特許
J-GLOBAL ID：200903083356200622

投影光学系及びそれを備えた投影露光装置並びにデバイス製造方法

発明者：
重松 幸二

重松 幸二 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-155213
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051193
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】両側テレセントリックであり、使用する硝材の吸収による結像性能の低下を低減し、十分大きな開口数と広い露光領域とを確保しつつ、諸収差、特にディストーションを極めて良好に補正したコンパクトで高性能な投影光学系等を提供すること。【解決手段】 第1物体のパターンを第2物体上に投影する投影光学系において、第1物体側から順に、正第1レンズ群G1と、負第2レンズ群G2と、正第3レンズ群G3と、負第4レンズ群G4と、少なくとも2枚の負レンズ成分を備える正第5レンズ群G5とを有し、前記第5レンズ群は、Φ/Φexp≦3.5を2つのレンズ面が満足し、かつn≦1.57を満足する第1の材料で構成された第1レンズ成分L59等を含み、前記投影光学系全系は、Φ/Φexp>3.5を2つのレンズ面が満足し、かつn>1.57を満足する第2の材料で構成された第2レンズ成分L34を含む。
請求項（抜粋）：
第1物体のパターンを第2物体上に投影する投影光学系において、第1物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、負の屈折力を有する第4レンズ群と、少なくとも2枚の負レンズ成分を備え、かつ正の屈折力を有する第5レンズ群と、を有し、前記第5レンズ群は、Φ/Φexp≦3.5の条件を2つのレンズ面が満足し、かつn≦1.57を満足する第1の材料で構成された少なくとも1つの第1レンズ成分を含み、前記投影光学系全系は、Φ/Φexp>3.5の条件を2つのレンズ面が満足し、かつn>1.57を満足する第2の材料で構成された少なくとも1つの第2レンズ成分を含み、両側テレセントリックであることを特徴とする投影光学系。但し、Φ:有効径、n:屈折率Φexp:第2物体側の露光領域径、である。
IPC (4件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/22 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/22 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (18件)：
2H087KA21 ,  2H087NA02 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA02 ,  2H087QA06 ,  2H087QA17 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087RA32 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 投影光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-105707   出願人：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-301089   出願人：株式会社ニコン

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