特許

J-GLOBAL ID：200903083434850868

水晶振動子及びその製造方法ならびに物理量センサー

発明者： 池田 智夫
出願人/特許権者： シチズンホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-135063
公開番号（公開出願番号）：特開2007-306471
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【課題】本発明は、生産効率に優れ、生産性の高い水晶振動子の製造方法を提供することにあり、さらには、小型で精度の高い水晶振動子の製造方法を提供することにある。さらに、小型で精度の高い水晶振動子と物理量センサーを提供することにある。【解決手段】水晶ウェハーを加工して、基部と基部から突出してなる振動脚を備えた水晶片を形成する水晶片形成工程と、基部を固定し振動脚を振動させて共振周波数を測定する振動測定工程と、水晶片の表面をウェットエッチング法によってエッチングして所望の共振周波数になるよう調整する追加エッチング工程と、所望の共振周波数に調整された水晶片上に電極を形成する電極形成工程とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶ウェハーを加工し、振動する振動脚と振動しない基部とを有する所望の形状の水晶片を形成する水晶片形成工程と、 前記水晶片を振動させ共振周波数を測定する振動測定工程と、 前記水晶片の表面をウェットエッチング法によってエッチングして所望の共振周波数になるよう調整する追加エッチング工程と、 前記追加エッチング工程の後に、前記共振周波数に調整された前記水晶片上に電極を形成する電極形成工程と、 を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (6件)：

H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H03H3/02 D ,  H03H3/04 B ,  H03H9/19 J ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (12件)：

5J108AA02 ,  5J108AA06 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108KK01 ,  5J108KK05 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108NA03 ,  5J108NB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動片、振動子、発振器及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-323985   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 振動ジャイロスコープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-209222   出願人：富川義朗