特許

J-GLOBAL ID：200903083459823539

反り検査装置

発明者： 山田 智章
出願人/特許権者： 株式会社住友金属エレクトロデバイス
代理人 (1件)： 井上 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-143025
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317408
出願日： 2005年05月16日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】セラミック基板の反り検査を安価にかつ高速に行うことが可能な反り検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】セラミック基板3を上面に配置する合成樹脂製のベース板2と、セラミック基板3を撮像するCCDカメラ5と、撮像された画像データを処理してセラミック基板3の検査対称箇所の位置決めを行うための2次元領域を検出する画像処理手段6と、この位置決め用の2次元領域を基準としてセラミック基板3の所望の検査対象箇所において予め設定された基準面からの高さを非接触に検出するレーザ変位計4と、この検出した高さデータを処理するとともに画像処理手段6により検出された2次元領域の位置情報の処理を行うデータ処理手段7と、ベース板2を水平方向に移動させる駆動手段1と、データ処理手段7によるデータの処理内容に基づいて駆動手段1の動作を制御する制御手段8とを備えるものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に素子及び/又は回路を備える被測定物の反りを検知する反り検査装置であって、上面に前記被測定物が配置されるベース板と、前記被測定物を撮像する撮像手段と、この撮像手段から出力された画像データを処理して前記被測定物の位置決め領域を検出する画像処理手段と、前記位置決め領域を基準として前記被測定物の所望の検査対象位置における予め設定された基準面からの高さを非接触に検出する光学的変位検出手段と、この光学的変位検出手段が検出した高さデータを処理するデータ処理手段とを備え、 前記画像処理手段は、予め基準となる被測定物の位置決め領域の濃度分布スペクトルデータを取得してマスタパターンとして記憶しておき、撮像された被測定物の画像の濃度分布スペクトルデータを入力パターンとして、前記マスタパターンと前記入力パターンの相互相関を求めることにより前記位置決め領域を検出することを特徴とする反り検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/956 ,  H05K 3/00 ,  H01L 23/13

FI (5件)：

G01B11/24 M ,  G01B11/00 H ,  G01N21/956 B ,  H05K3/00 Q ,  H01L23/12 C

Fターム (40件)：

2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065AA63 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC25 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065EE07 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ44 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2F065UU05 ,  2G051AA65 ,  2G051AB10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051DA09 ,  2G051EA16 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• コプラナリティ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-009106   出願人：日本電気株式会社
• 複数点の変位計を用いたバンプ形状検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-239333   出願人：日立電子株式会社
• 特許第2929961号公報