特許
J-GLOBAL ID：200903083510798684
有機電界発光素子の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370744
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173871
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、有機材料で周囲を汚染することなく、且つ外部からの埃や不純物が混入を防止した有機EL製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 透明電極が設けられた基板上に、発光層を含む有機層及び金属電極を順次形成する有機電界発光素子の製造装置において、前記透明電極上に形成する有機層と、この有機層上に形成する金属層とを大気に曝さずに形成するように、各処理室が気密的に連接され、少なくとも有機層を形成する処理室(有機層形成室)2が二重のグローブボックス21,22で形成され、内部グローブボックス22に有機層を塗布する装置が設けられる。
請求項（抜粋）：
透明電極が設けられた基板上に、発光層を含む有機層及び金属電極を順次形成する有機電界発光素子の製造装置において、前記透明電極上に形成する有機層と、この有機層上に形成する金属層とを大気に曝さずに形成するように、各処理室が気密的に連接され、少なくとも有機層を形成する処理室がグローブボックスで形成されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB11
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
