特許
J-GLOBAL ID：200903083565095399

半導体工場

発明者：
柿崎 治郎

柿崎 治郎 について


出願人/特許権者：
株式会社竹中工務店

株式会社竹中工務店 について


代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225108
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049885
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：
【要約】【課題】 半導体・液晶等の工場の製造階の床構造を合理的(短工期・ローコスト)に構成することにある。【解決手段】 主要製造機器を設置する製造階と、この製造階の下方で前記主要製造機器にユーティリティ(電気、冷却水、ガス、その他)を供給する配管、電気ケーブルやダクトを設置するユーティリティ階とを区画する床を備え、前記床は、その主要部を鉄筋または鉄骨またはその両方の補強のコンクリート(RCまたはSRC)で製造され、前記主要製造機器は、レベル調整機構を持つ荷重支持脚部を設けてまたはレベル調整機構を持つ台に載置して前記床面に設置され、さらに、前記床面には、人間の歩行用や製品、材料の運搬用の装置の走行用の床またはレールを設けた製造設備床が配設されている。
請求項（抜粋）：
主要製造機器を設置する製造階と、この製造階の下方で前記主要製造機器にユーティリティ(電気、冷却水、ガス、その他)を供給する配管、電気ケーブルやダクトを設置するユーティリティ階とを区画する床を備え、前記床は、その主要部を鉄筋または鉄骨またはその両方の補強のコンクリート(RCまたはSRC)で製造され、前記主要製造機器は、レベル調整機構を持つ荷重支持脚部を設けてまたはレベル調整機構を持つ台に載置して前記床面に設置され、さらに、前記床面には、人間の歩行用や製品、材料の運搬用の装置の走行用の床またはレールを設けた製造設備床が配設されていることを特徴とする半導体工場。
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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