特許
J-GLOBAL ID：200903083636857244

シート貼付装置

発明者：
中田 幹

中田 幹 について

, 
小林 賢治

小林 賢治 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-244673
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066597
出願日： 2006年09月08日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】押圧力を付与してシートを板状部材に貼付する際に、これらの間に空気が混入することがなく、板状部材の面にシートを貼付すること。【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11と、前記半導体ウエハWに対してシートに押圧する押圧部材12とを備えてシート貼付装置10が構成されている。押圧部材12は、中央部が外周側に対して半導体ウエハWに接近する傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面21と、その外周側に連設された変形許容部23とからなる。この変形許容部23は、押圧部材12と上部ケース30との間に形成される第2の空間内を減圧差によって変形可能とされている。押圧面21は、変形許容部23の変形により面位置を下降するとともに、その押圧力の分布を中央部から外周側に向かって拡げてシートSに貼付圧力を付与する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材に沿って配置されたシートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、 前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面の外周側に連設された変形許容部とからなり、 前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (3件)：
5F031CA02 ,  5F031MA37 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第2945089号公報
審査官引用 (4件)
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