特許
J-GLOBAL ID：200903083651590025

ポジ型レジスト用剥離液

発明者：
中村 昌洋

中村 昌洋 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189220
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022095
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 銅配線材料に対して、剥離性能が優れ、且つ、特に銅を劣化及び腐食することのないポジ型レジスト剥離液をを提供する。【解決手段】 アルカノールアミン化合物と、トリアゾール化合物と、没食子酸誘導体とを含有する剥離液に、アミド化合物、イミダゾリジノン化合物およびスルホキシド化合物からなる群より選択される1種以上の化合物とをさらに含有させる。
請求項（抜粋）：
アルカノールアミン化合物と、トリアゾール化合物と、没食子酸誘導体と、アミド化合物、イミダゾリジノン化合物およびスルホキシド化合物からなる群より選択される1種以上の化合物とを含有するポジ型レジスト用剥離液。
IPC (2件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B
Fターム (11件)：
2H096AA25 ,  2H096BA09 ,  2H096CA12 ,  2H096DA01 ,  2H096EA30 ,  2H096HA14 ,  2H096LA03 ,  2H096LA07 ,  5F046MA02 ,  5F046MA12 ,  5F046MA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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