静電吸着装置及びこれを備えた真空処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿部英樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245828
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077184
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ダストや静電チャック本体の劣化等の問題を生じさせることなく種々の外径の基板に対して兼用化しうる静電吸着装置を提供する。【解決手段】静電チャックは、静電吸着力によって基板8A、8B、8Cを静電チャックプレート20に吸着保持するように構成された静電吸着装置において、静電チャックプレート20上に複数の吸着突部31A〜31Cが所定の間隔をおいて同心円状に設けられている。また、基板の大きさの違いから、吸着突部31A〜31Cのうち露出した吸着突部は、防着プレート40(40A、40B)によって覆うように構成されている。

請求項（抜粋）：

静電吸着力によって基板を静電チャック本体に吸着保持するように構成された静電吸着装置において、上記静電チャック本体上に複数の吸着突部が所定の間隔をおいて同心状に設けられていることを特徴とする静電吸着装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065 , H01L 21/31 , H02N 13/00

FI (6件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H01L 21/31 D , H01L 21/31 F , H02N 13/00 D , H01L 21/302 B

Fターム (26件)：

3C016GA10 , 5F004AA16 , 5F004BB22 , 5F004BB23 , 5F004BB25 , 5F004BB26 , 5F004BD05 , 5F031CA02 , 5F031HA08 , 5F031HA16 , 5F031HA18 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031PA18 , 5F031PA26 , 5F045AA08 , 5F045BB14 , 5F045DP02 , 5F045EB05 , 5F045EJ09 , 5F045EJ10 , 5F045EK05 , 5F045EM05 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (2件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-015469 出願人：京セラ株式会社
静電チャックとウェハ吸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091873 出願人：富士通株式会社

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