特許
J-GLOBAL ID：200903072132004613

静電チャック

発明者：
神谷 哲

神谷 哲 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-015469
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213777
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】誘電体層の表面に溝を形成した静電チャックにおいて、半導体ウエハへの異物の付着量を低減するとともに、上記保持面の溝に供給するHe等のガスをチャンバー室内にリークさせることなく半導体ウエハを均一に加熱できるようにする。【解決手段】セラミックスまたはサファイアよりなる誘電体層の一方の表面に静電電極を備えるとともに、他方の表面に溝を形成して凹凸状となし、該凸部の頂面を保持面としてなる静電チャックにおいて、保持面を構成する凸部のうち、少なくとも最外周の凸部の幅を1〜20mmとし、かつその頂面を中心線平均粗さ(Ra)で0.3μm以下の滑らかな面とする。また、上記保持面に設けた溝の深さを5μm以上とする。
請求項（抜粋）：
セラミックスまたはサファイアよりなる誘電体層の一方の表面に静電電極を備えるとともに、他方の表面に溝を設けて凹凸状となし、該凸部の頂面を保持面としてなる静電チャックにおいて、上記保持面を構成する凸部のうち、少なくとも最外周の凸部の幅を1〜20mmとし、かつその頂面を中心線平均粗さ(Ra)で0.3μm以下の滑らかな面としたことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D
引用特許：
審査官引用 (4件)
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