特許
J-GLOBAL ID：200903083690045581

感光性樹脂組成物及びパターン形成樹脂層の製造方法、並びに当該感光性樹脂組成物を含む半導体装置及び表示素子

発明者：
水島 彩子

水島 彩子 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289956
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101795
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】遮光性に優れ、スカムが無くパターニングできる感光性樹脂組成物並びに半導体装置及び表示素子を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感光剤、(C)チタンブラックを含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物を用いることにより解決される。前記チタンブラック(C)の粒径が30〜200nmであり、前記アルカリ可溶性樹脂(A)がポリアミド樹脂又はポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂であり、(B)がキノンジアジド化合物及びジヒドロピリジン化合物から選ばれることが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂、 (B)感光剤、 (C)チタンブラック を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/11 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 505 ,  G03F7/037 501 ,  G03F7/11 501 ,  G03F7/11 503 ,  H01L21/30 502R
Fターム (16件)：
2H025AA04 ,  2H025AA20 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB43 ,  2H025CC11 ,  2H025CC20 ,  2H025DA02 ,  2H025DA34 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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