特許
J-GLOBAL ID：200903007916934041

感光性樹脂組成物並びにそれを用いた半導体装置及び表示素子

発明者：
番場 敏夫

番場 敏夫 について

, 
水島 彩子

水島 彩子 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077363
公開番号（公開出願番号）：特開2005-266189
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 高感度で、本発明は、遮光性に優れ、スカムが無くパターニングできる感光性樹脂組成物及び半導体装置又は表示素子を提供する。【解決手段】 ポリアミド樹脂(A)、感光材(B)及び着色剤(C)からなる感光性樹脂組成物であり、着色剤(C)はカーボンブラック、チタンブラック、酸化クロム、酸化鉄、酸化マンガン又は酸化チタンであることが好ましく、ポリアミド樹脂(A)はポリベンゾオキサゾール前駆体構造、ポリアミド酸構造又はポリアミド酸エステル構造をそれぞれ単独又は2種類以上含んでなるものであることが好ましい。
請求項（抜粋）：
ポリアミド樹脂(A)、感光材(B)及び着色剤(C)を含んでなる感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  G02B5/20 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/004 505 ,  G02B5/20 101 ,  G03F7/023 ,  G03F7/037 ,  H01L21/30 502R
Fターム (23件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE05 ,  2H025CB23 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC12 ,  2H025FA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特公平1-46862号公報
審査官引用 (11件)
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