封止用セラミックス蓋体及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-346539
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179555
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】天井部と側壁を一体化したセラミックス蓋体において天井部と側壁部の厚みを0.3mm以下にすることが出来なかった。金属蓋体では、接着材との接着強度が低いという問題があった。【解決手段】天井部と側壁を一体化したセラミックス蓋体において天井部と側壁部の厚みを0.1〜0.2mmとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

天井部と側壁を一体的に形成した封止用セラミックス蓋体において、上記天井部の長辺が6mm以下、側壁の高さが1mm以下であり、天井部及び側壁の厚みがいずれも0.1〜0.2mmであることを特徴とする封止用セラミック蓋体。

IPC (2件)：

H01L23/02 , H01L23/08

FI (2件)：

H01L23/02 J , H01L23/08 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

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