特許
J-GLOBAL ID：200903083723615150
マルチ荷電粒子線露光装置および方法ならびに該装置または方法を用いたデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206223
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056923
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】各電子ビームの電流を正確に測定でき、所望パターンを露光できるマルチ荷電粒子線描画装置を提供する。【解決手段】複数の荷電粒子線を用いてウエハ9を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、複数の荷電粒子線を直接入射させその総電流を計測するファラデーカップ14と、各荷電粒子線を直接入射させ入射電子を増倍する機能を有し、各荷電粒子の電流の相対値を計測するマルチ検出器15とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の荷電粒子線を用いて被露光基板を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、
前記複数の全荷電粒子線を入射させてその総電流を計測する第1の計測手段と、
前記荷電粒子線を入射させ入射させた荷電粒子線の電子を増倍して前記複数の各荷電粒子線の電流の相対値を計測する第2の計測手段と
を有することを特徴とするマルチ荷電粒子線描画装置。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, H01J37/04
, H01J37/305
H01L21/30 541W
, G03F7/20 504
, H01J37/04 A
, H01J37/305 B
2H097AA03
, 2H097BB01
, 2H097CA16
, 2H097GB04
, 2H097LA10
, 5C030AA01
, 5C030AB03
, 5C034BB01
, 5F056AA06
, 5F056BA02
, 5F056BB02
, 5F056BB03
, 5F056CB02
, 5F056CB05
, 5F056CB15
