ゲートバルブおよびそれを用いた半導体製造装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181943
公開番号（公開出願番号）：特開平9-032961
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】外部リークが防止でき、スムーズな真空排気が行えるゲートバルブを提供する。【構成】バルブケーシング3の外周において環状に設けられてS極とN極とが周方向に沿って交互に形成された環状電磁石4と、バルブケーシング3内に設けられて電磁石コントローラ5による環状電磁石4の極性反転動作によって時計回りおよび反時計回りに回転する回転ディスク6と、この回転ディスク6の回転中心軸と同軸的に設けられて回転ディスク6の回転により軸方向に往復動するシャフト7と、バルブケーシング3の内壁から径方向中央に向かって環状に形成された弁座部16と、シャフト7の一方端に取り付けられ、弁座部16と接近・離反して流路を開閉する弁体14とを有するゲートバルブである。環状電磁石4のS極とN極の反転速度は電磁石コントローラ5により調整可能となっている。

請求項（抜粋）：

バルブケーシングの外周において環状に設けられ、S極とN極とが周方向に沿って交互に複数形成されるとともにコントローラによってこれらの極性が反転する回転駆動手段と、前記バルブケーシング内に設けられ、前記回転駆動手段の極性反転動作によって時計回りおよび反時計回りに回転する回転手段と、前記回転手段の回転中心軸と同軸的に設けられ、該回転手段の回転を推力に変えて軸方向に往復動するシャフトと、前記バルブケーシングの内壁から径方向中央に向かって環状に形成された弁座部と、前記シャフトの一方端に取り付けられ、該シャフトの往復動により前記弁座部と接近・離反して流路を開閉する弁体とを有することを特徴とするゲートバルブ。

IPC (2件)：

F16K 31/06 305 , H01L 21/205

FI (2件)：

F16K 31/06 305 W , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (8件)

弁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-086139 出願人：山武ハネウエル株式会社, 東洋エンジニアリング株式会社
真空バルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-074389 出願人：株式会社芝浦製作所
永久磁石式ステッピングモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-293796 出願人：日本サーボ株式会社

全件表示

前のページに戻る