特許
J-GLOBAL ID：200903083755566134
表面処理組成物及びそれを用いた基体の表面処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191504
公開番号（公開出願番号）：特開平9-040997
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：
【要約】【課題】 金属(特にアルミニウム)付着防止効果に優れた表面処理組成物を提供する。【解決手段】金属付着防止剤として、キノリノール及びその誘導体、エチレンジアミンジオルトヒドロキシフェニル酢酸、2-ヒドロキシ-1-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニルアゾ)-4-ナフタレンスルホン酸、4,4’-ビス(3,4-ジヒドロキシフェニルアゾ)-2,2’-スチルベンジスルホン酸二アンモニウム、ピロカテコールバイオレット、o,o’-ジヒドロキシアゾベンゼン、1’2-ジヒドロキシ-5-ニトロ-1,2’-アゾナフタレン-4-スルホン酸、N,N’-ビス(2-ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン-N,N’-二酢酸から選ばれる少なくとも1種の錯化剤を含有する液状表面処理組成物
請求項（抜粋）：
金属付着防止剤として、キノリノール及びその誘導体、エチレンジアミンジオルトヒドロキシフェニル酢酸、2-ヒドロキシ-1-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニルアゾ)-4-ナフタレンスルホン酸、4,4’-ビス(3,4-ジヒドロキシフェニルアゾ)-2,2’-スチルベンジスルホン酸二アンモニウム、ピロカテコールバイオレット、o,o’-ジヒドロキシアゾベンゼン、1’2-ジヒドロキシ-5-ニトロ-1,2’-アゾナフタレン-4-スルホン酸、N,N’-ビス(2-ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン-N,N’-二酢酸から選ばれる少なくとも1種の錯化剤を含有する事を特徴とする液状表面処理組成物。
IPC (4件)：
C11D 7/06
, C11D 3/60
, H01L 21/304 341
, H01L 21/308
C11D 7/06
, C11D 3/60
, H01L 21/304 341 L
, H01L 21/308 G
