特許

J-GLOBAL ID：200903083798919383

ガス冷却式縦型ウェーハ処理装置

発明者： 中根 斉 ,  鈴木 義浩 ,  岡 敏
出願人/特許権者： 大倉電気株式会社
代理人 (1件)： 市東 篤 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001698
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196321
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】ガスをウェーハ処理装置内に循環させて高速降温を行うガス冷却式縦型ウェーハ処理装置を提供する。【解決手段】ウェーハ9装填用の縦長石英チューブ5を中央に有する炉1の外にマニホルド21を設ける。複数の冷却ノズル11を、マニホルド21から炉1の周壁を貫通して延ばし、石英チューブ5全長の周壁に向けて開口させる。炉1の頂壁に排気口13を穿つ。前記排気口13を、炉1外の熱交換器17と送風装置19とを介してマニホルド21に接続するガス管路29により、循環路を形成する。送風装置19により熱交換器17と炉1との間にガスを循環させ、熱交換器17からの低温ガスを冷却ノズル11により石英チューブ5全長の周壁に吹付けてチューブ5及びウェーハ9を冷却し、炉1からの戻り高温ガスを熱交換器17で収熱することにより冷却用の低温ガスとする。

請求項（抜粋）：

ウェーハ装填用の縦長石英チューブを中央に有する炉、炉外のマニホルドから前記炉の周壁を貫通して延び前記石英チューブ全長の周壁に向け開口する複数の冷却ノズル、前記炉の頂壁に開口する排気口、及び炉外の熱交換器と送風装置とを介して前記排気口をマニホルドに接続するガス管路を備え、前記送風装置により前記熱交換器と炉との間にガスを循環させ、前記熱交換器からの低温ガスを前記冷却ノズルにより前記石英チューブ全長の周壁に吹付けて石英チューブ及びウェーハを冷却し、炉からの戻り高温ガスを前記熱交換器での収熱により低温ガスとしてなるガス冷却式縦型ウェーハ処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

FI (5件)：

H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 W ,  H01L 21/324 R

Fターム (8件)：

5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB02 ,  5F045EJ04 ,  5F045EJ10 ,  5F045EK06 ,  5F045EM10

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-168616   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 特開平4-065820
  
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-053690   出願人：光洋リンドバーグ株式会社
• 特開平3-224217
  
• 特開平4-065820
  
• 特開平3-224217