光受容部材の製造方法、該光受容部材、該光受容部材を有する電子写真装置及び該光受容部材を用いた電子写真プロセス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096558
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211878
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】クリーニング性を長期間損なうことなく、コロナ放電生成物が付着し難く、ドラムの加温手段を設けずとも画像ボケや画像流れ、画像濃度ムラをなくした光受容部材を提供する。【解決手段】減圧可能な反応容器内で、基体上に、炭素原子、酸素原子又は窒素原子の少なくともいずれか一種を含む非単結晶材料の層の成膜とエッチングとを交互に複数回繰り返すことにより表面層を形成する。

請求項（抜粋）：

減圧可能な反応容器内で、基体上に、炭素原子、酸素原子又は窒素原子の少なくともいずれか一種を含む非単結晶材料の層の成膜とエッチングとを交互に複数回繰り返すことにより表面層を形成することを有する光受容部材の製造方法。

IPC (5件)：

G03G 5/08 301 , G03G 5/08 360 , C23F 4/00 , H01L 21/3065 , H01L 31/08

FI (7件)：

G03G 5/08 301 , G03G 5/08 360 , C23F 4/00 E , C23F 4/00 A , H01L 21/302 A , H01L 21/302 F , H01L 31/08 Q

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-204266
特開平4-281460
特開昭61-289354

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