特許
J-GLOBAL ID：200903083867085309

光学部品の波長特性検査装置

発明者：
板倉 康夫

板倉 康夫 について

, 
若林 理

若林 理 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242039
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光の照射直後に、サンプルを汚損することなく正確な波長特性を測定することが可能な光学部品の波長特性検査装置を提供する。【解決手段】 被検査対象であるサンプル光学部品25に照射光11を照射し、照射後のサンプル光学部品25の波長に対する特性を測定して、サンプル光学部品25の検査を行なう光学部品の波長特性検査装置において、照射光11を照射後、サンプル光学部品25を照射光11の照射時と略同一の環境内においた状態で、波長特性の測定を行なえるようにしたことを特徴とする光学部品の波長特性検査装置。
請求項（抜粋）：
被検査対象であるサンプル光学部品(25)に照射光(11)を照射し、照射後のサンプル光学部品(25)の波長に対する特性を測定して、サンプル光学部品(25)の検査を行なう光学部品の波長特性検査装置において、照射光(11)を照射後、サンプル光学部品(25)を照射光(11)の照射時と略同一の環境内においた状態で、波長特性の測定を行なえるようにしたことを特徴とする光学部品の波長特性検査装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ,  G01J 3/18
FI (2件)：
G01M 11/00 T ,  G01J 3/18
Fターム (13件)：
2G020BA02 ,  2G020BA20 ,  2G020CA02 ,  2G020CB04 ,  2G020CB33 ,  2G020CC04 ,  2G020CC07 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G086EE05 ,  2G086EE08 ,  2G086EE12 ,  2G086GG04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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