特許
J-GLOBAL ID:200903083887359731
針状体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-103197
公開番号(公開出願番号):特開2006-264288
出願日: 2005年03月31日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 十分な強度を有し、かつ先端が鋭利で、細く高アスペクト比の針状体を製造する針状体の製造方法を提供する。【解決手段】 ベースとその上に設置した針状部からなる針状体の製造方法において、(1)金属微粒子分散高分子膜体を形成する工程、(2)金属微粒子分散高分子膜体の表面にレーザ光を照射して凹部を形成し、マスタ型を作製する工程、(3)マスタ型を転写し、針状凸部を有する転写型を形成する工程、(4)転写型上にメッキ構造体を形成し、金型を作製する工程、(5)金型上に針状体を形成する工程、及び(6)金型から針状体を剥離する工程からなる針状体の製造方法であって、前記工程(2)において、金属微粒子分散高分子膜体表面に垂直な方向に異なる焦点位置を有するレーザ光を同一位置に逐次的に照射することによって段階的に凹部を形成することを特徴とする針状体の製造方法である。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ベース部とその上に設置した針状部からなる針状体の製造方法において、(1)金属微粒子分散高分子膜体を形成する工程、(2)金属微粒子分散高分子膜体の表面にレーザ光を照射して凹部を形成し、マスタ型を作製する工程、(3)マスタ型を転写し、針状凸部を有する転写型を形成する工程、(4)転写型上にメッキ構造体を形成し、金型を作製する工程、(5)金型上に針状体を形成する工程、及び(6)金型から針状体を剥離する工程からなる針状体の製造方法であって、前記工程(2)において、金属微粒子分散高分子膜体表面に垂直な方向に異なる焦点位置を有するレーザ光を同一位置に逐次的に照射することによって段階的に凹部を形成することを特徴とする針状体の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (19件):
4F202AA01A
, 4F202AA04
, 4F202AB13B
, 4F202AC05D
, 4F202AG01
, 4F202AG05
, 4F202AG28
, 4F202AH63
, 4F202AJ02
, 4F202AJ03
, 4F202AJ07
, 4F202CA09
, 4F202CA11
, 4F202CB01
, 4F202CD06
, 4F202CD12
, 4F202CD30
, 4F202CK11
, 4F202CM90
引用特許:
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