特許
J-GLOBAL ID：200903083893095185

固体撮像素子およびその製造方法

発明者：
北澤 良幸

北澤 良幸 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400502
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197886
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズを有し、光電変換機能を有する受光部を備えた固体撮像素子において、受光部の感度を向上させ、かつ混色の発生を抑える。【解決手段】 受光部としてのフォトダイオード13とマイクロレンズ32との間の層間絶縁膜18A〜18Dに開口部27を設け、開口部27の側壁部分の保護膜24の表面に例えばアルミニウム(Al)からなる反射膜28を形成する。入射した光は1画素ごとにマイクロレンズ32、開口部27の内部の平坦化絶縁膜29、保護膜24および層間絶縁膜18Aを通って、フォトダイオード13の近傍、開口部27内、または開口部27近傍などで平坦化絶縁膜29等により設定した位置で焦点を結び、フォトダイオード13による光電変換が行われる。開口部27近傍でマイクロレンズ32からの焦点を結ぶ光でも、反射膜28で反射されつつ確実にフォトダイオード13に到達する。
請求項（抜粋）：
光電変換を行う受光部と、この受光部に対向して配設されたマイクロレンズとを備えた固体撮像素子であって、前記受光部と前記マイクロレンズとの間に設けられた層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の前記受光部に対向する位置に、その層間絶縁膜の厚さ方向に穿設された開口部と、前記マイクロレンズによって外部から集光された光を反射させつつ前記受光部へと導くように前記開口部の側壁に設けられた反射膜とを備えたことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14 ,  H04N 1/028 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H04N 1/028 Z ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D
Fターム (29件)：
4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD15 ,  5C024CX11 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C051AA01 ,  5C051BA02 ,  5C051DA02 ,  5C051DB01 ,  5C051DB04 ,  5C051DB05 ,  5C051DB06 ,  5C051DB18 ,  5C051DB22 ,  5C051DB23 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051EA01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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