特許

J-GLOBAL ID：200903083910185282

軟磁性膜とこの軟磁性膜を用いた薄膜磁気ヘッド、平面型磁気素子、およびフィルタ

発明者： 牧野 彰宏 ,  畑内 隆史 ,  佐々木 義人 ,  山沢 清人 ,  佐藤 敏郎
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社 ,  山沢 清人 ,  佐藤 敏郎
代理人 (1件)： 野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-293645
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121232
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 従来、薄膜磁気ヘッドのコア層はNiFe系合金などで形成されていたが、NiFe系合金は比抵抗が低いため、高周波数帯域では渦電流損失が増大するといった問題が生じていた。また、特開平6-316748号公報には、比抵抗の高い軟磁性膜としてFe-M-O膜が提示されているが、この軟磁性膜では優れた比抵抗の周波数特性を得られないという問題があった。【解決手段】 膜構造が、微結晶質相とアモルファス相とから成り、アモルファス相のみならず微結晶相にもO(酸素)が固溶しているCo-M-T-O膜をコア層1,6として使用することにより、高比抵抗と優れた周波数特性を得ることができるので、コア層1,6のコア機能を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

主成分のCoと、Fe,Niのうちいずれか一方、あるいは両方を含む元素Tと、Ti,Zr,Hf,Nb,Ta,Cr,Mo,Si,P,C,W,B,Al,Ga,Geと希土類元素から選ばれる1種または2種以上の元素MとOとを主に含有し、膜構造としては、元素Mの酸化物を多量に含むアモルファス相に、Coと元素Tとを主体とする微結晶相が混在しており、さらに前記微結晶相には、元素Mの酸化物を含んでいることを特徴とする軟磁性膜。

IPC (2件)：

H01F 10/16 ,  G11B 5/31

FI (2件)：

H01F 10/16 ,  G11B 5/31 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 高周波用軟磁性合金薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-286300   出願人：アルプス電気株式会社
• 一軸磁気異方性膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-267628   出願人：財団法人電気磁気材料研究所