特許
J-GLOBAL ID：200903083997455655
液浸式露光装置のラストレンズ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
, 鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-140667
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005777
出願日： 2006年05月19日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【解決手段】本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式BaLiF3で表される結晶からなることを特徴としており、前記結晶は、好適には、式BaLiF3で表される単結晶であり、また、前記液浸式露光装置は、波長200nm以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ArFエキシマレーザー発振器またはF2エキシマレーザー発振器を備えていることが好ましい。【効果】本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長200nm以下において、高屈折率、高透過率、低SBRを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式BaLiF3で表される結晶からなることを特徴とする液浸式露光装置のラストレン
ズ。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 13/14
, G02B 21/00
H01L21/30 515D
, G02B13/14
, G02B21/00
2H052AB02
, 2H087KA09
, 2H087LA01
, 2H087NA04
, 2H087UA02
, 5F046CB01
, 5F046CB12
