特許
J-GLOBAL ID：200903084039465714

フォトマスク保護用粘着テープ

発明者：
多田 博士

多田 博士 について

, 
笹田 徹也

笹田 徹也 について


出願人/特許権者：
積水化学工業株式会社

積水化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290822
公開番号（公開出願番号）：特開2009-116170
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：
【課題】 再剥離性(剥がした場合に被着体に糊残りしていない性能)に優れ、複雑で、ドットが小さく、線の細い、また線の間隔が狭いパターンの描かれたフォトマスクにフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けても気泡が混入しない解像度の高いフォトマスク保護用粘着テープの提供。 【解決手段】 透明な基材(A)の片面に、GPC法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が100万〜200万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる粘着剤層(B)が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、アクリル酸エステル系樹脂が特定のものであり、粘着剤層(B)の引張剪断変位量が、8〜25μmであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープによる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明な基材(A)の片面に、GPC法によるポリスチレン換算分子量として測定される重量平均分子量が50万〜150万であるアクリル酸エステル系樹脂と、架橋剤とを含有してなる粘着剤からなる粘着剤層(B)が設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープであって、 前記アクリル酸エステル系樹脂は、アルキル基の炭素数が4〜12の(メタ)アクリル酸エステル単量体を主成分とし、水酸基またはカルボキシル基を有するビニル系単量体を共重合されてなるものであり、 粘着剤層(B)は、厚み4μmで200g荷重において引張剪断変位量が、8〜25μmであることを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。
IPC (3件)：
G03F 1/14 ,  C09J 7/02 ,  C09J 133/04
FI (3件)：
G03F1/14 E ,  C09J7/02 Z ,  C09J133/04
Fターム (22件)：
2H095BA04 ,  2H095BC20 ,  4J004AA10 ,  4J004AA13 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004AB04 ,  4J004CA03 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J040DF031 ,  4J040EF282 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040KA16 ,  4J040PA23 ,  4J040PA42
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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