特許
J-GLOBAL ID:200903084059526256
感光性樹脂積層体の製造装置
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
高島 一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-182953
公開番号(公開出願番号):特開2001-010006
出願日: 1999年06月29日
公開日(公表日): 2001年01月16日
要約:
【要約】【課題】 優れた品質の感光性樹脂積層体を効率良く製造し得る感光性樹脂積層体の製造装置を提供することにある。【解決手段】 固形状の感光性樹脂11と支持体10との積層体を製造するための製造装置を用いる。製造装置は、支持体10を搬送する搬送テーブル1と、搬送経路中に設置され、搬送中の支持体10に固形状の感光性樹脂11を重ね合わせて圧着を行う圧着ロール(2a,2b)と、感光性樹脂11を圧着ロール(2a,2b)へ送る送り手段3と、圧着ロール(2a,2b)の手前側において支持体10の接合面および/または感光性樹脂11の接合面に、感光性樹脂11を溶解または膨潤させる溶剤を供給する溶剤供給手段4とを少なくとも用いて構成する。
請求項(抜粋):
固形状の感光性樹脂と支持体との積層体を製造するための製造装置であって、支持体を搬送する搬送テーブルと、搬送テーブルの搬送経路中に設置され、搬送中の支持体に感光性樹脂を重ね合わせて圧着を行う圧着ロールと、感光性樹脂を圧着ロールへ送る送り手段と、圧着ロールの手前側において、支持体の接合面および/または感光性樹脂の接合面に、感光性樹脂を溶解または膨潤させる溶剤を供給する溶剤供給手段とを少なくとも有することを特徴とする感光性樹脂積層体の製造装置。
IPC (3件):
B32B 31/04
, G03F 7/004 512
, G03F 7/16 501
FI (3件):
B32B 31/04
, G03F 7/004 512
, G03F 7/16 501
Fターム (17件):
2H025AA00
, 2H025AB02
, 2H025AB11
, 2H025EA08
, 4F100AK01A
, 4F100AK42
, 4F100AK80
, 4F100AL02
, 4F100AT00B
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100EA032
, 4F100EA042
, 4F100EJ192
, 4F100EK032
, 4F100EK082
, 4F100JN17A
引用特許:
審査官引用 (10件)
-
感光性樹脂積層体およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-253623
出願人:東洋紡績株式会社
-
特開平1-123495
-
建築板の塗装方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-185691
出願人:大日本塗料株式会社, ニチハ株式会社
-
光学素子の塗装方法及び塗装装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-249726
出願人:株式会社ニコン
-
レジスト再生方法およびレジスト再生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-234081
出願人:株式会社東芝
-
特開平1-100535
-
特開平2-102023
-
特開平1-123495
-
特開平1-100535
-
特開平2-102023
全件表示
前のページに戻る