特許

J-GLOBAL ID：200903084061481669

研磨装置

発明者： 渋木 俊一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-177264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-006006
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 研磨パッドを容易に装着することができると共に、メンテナンス作業を可及的に低減することができる研磨装置を提供する。【解決手段】 研磨台1の周囲には、固定リング7,8を支持するフック28及び研磨パッド3に張力を与えるコイルバネ26をそれぞれ備える複数のテンショナ2,2,...が周方向へ適宜の間隔で配置してあり、各テンショナ2,2,...は、研磨台1の周面から放射状に延設してあり、先端がフォーク状になしてあるアーム4,4,...によって支持されている。上側の固定リング7のテンショナ2,2,...に対向する部分には、各テンショナ2,2,...のフック28,28,...が係合するフックプレート9,9,...が設けてある。各フック28,28,...は対応するフックプレート9,9,...に着脱自在に係止してある。

請求項（抜粋）：

研磨台に展張した研磨パッドを被研磨物に摺接させて、該被研磨物を研磨する研磨装置において、バネ力によって前記研磨パッドに張力を与える複数のテンショナを備えることを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 621 D

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058AB01 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-159390   出願人：住友金属工業株式会社
• ラップ盤のキャリア
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-288553   出願人：光永産業株式会社