特許
J-GLOBAL ID：200903084074917431

干渉測定装置

発明者：
山内 豊彦

山内 豊彦 について

, 
岩井 秀直

岩井 秀直 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟 ,  柴田 昌聰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-127040
公開番号（公開出願番号）：特開2008-281484
出願日： 2007年05月11日
公開日（公表日）： 2008年11月20日
要約：
【課題】より高速に干渉光を位相変調することができる干渉測定装置を提供する。【解決手段】干渉測定装置1は、被測定物9の表面形状を測定するものであって、第1光源11、第2光源12、レンズ21〜25、アパーチャ31、光合波器41、光分波器42、ハーフミラー43、撮像部51、解析部52、受光部61、変位検出部62、ピエゾアクチュエータ71、駆動部72、ミラー73、ステージ81、駆動部82および制御部90を備える。第1光源11は、コヒーレント長が比較的短い光λ1を出力する。第2光源12は、コヒーレント長が比較的長い光λ2を波長変調して出力する。受光部61により受光される光λ2は位相変調光となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1波長の光を出力する第1光源と、 前記第1波長の光より高コヒーレントである第2波長の光を波長変調して出力する第2光源と、 前記第1光源および前記第2光源それぞれから出力される光を合波して出力する光合波器と、 前記光合波器により合波されて出力される光を2分岐して第1分岐光および第2分岐光として出力し、前記第1分岐光が第1対象物により反射されて生じる第1反射光を入力するとともに、前記第2分岐光が第2対象物により反射されて生じる第2反射光を入力して、これら第1反射光と第2反射光とを干渉させて当該干渉光を出力する干渉光学系と、 前記干渉光学系から出力される干渉光を入力して、第1波長の干渉光と第2波長の干渉光とに分波して出力する光分波器と、 前記光分波器から出力される前記第1波長の干渉光の干渉パターンを撮像する撮像部と、 前記光分波器から出力される前記第2波長の干渉光の位相変調に基づいて、前記光合波器から前記第1対象物を経て前記光分波器に到るまでの光路長と、前記光合波器から前記第2対象物を経て前記光分波器に到るまでの光路長との、光路長差を検出する光路長差検出手段と、 前記光路長差を調整する光路長差調整手段と、 前記光路長差検出手段による光路長差検出結果に基づいて、前記光路長差調整手段による光路長差調整動作を制御する制御部と、 を備え、 前記第1対象物および前記第2対象物のうち何れか一方が、第1波長の光を選択的に反射させる第1反射面と、第2波長の光を選択的に反射させる第2反射面と、を有するミラーである、 ことを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ,  G01J 9/02
FI (2件)：
G01B9/02 ,  G01J9/02
Fターム (8件)：
2F064AA01 ,  2F064AA09 ,  2F064FF01 ,  2F064FF03 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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