特許

J-GLOBAL ID：200903097388929501

レンズ面間隔測定装置および測定方法

発明者： 河村 淳
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292809
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098034
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】被検レンズ内に一方の光源の波長域を透過しないフィルタが含まれている場合など、あらゆる被検レンズの面間隔を高精度で測定する。【解決手段】レンズ面間隔測定装置において、互いに中心波長が異なる複数の光源21、22と、該光源からの光束を合成する第1光束合成手段25と、これにより合成された光束を2方向に分割する光束分割手段27と、分割された一方の光束の光路長を変化させる光路長可変手段30と、この位置を検出する位置検出手段32と、分割された他方の光束を被検レンズに導く導光手段35と、光路長を変化させられた光束と被検レンズ33のレンズ面により反射された光束とを合成する第2光束合成手段27と、これにより合成された干渉光の強度信号を検出する光電検出器40と、位置検出手段32の出力と光電検出器40の出力とを演算処理する演算処理手段41とを備えた。

請求項（抜粋）：

可干渉距離が短く、互いに中心波長が異なる複数の光源と、該光源からの光束を合成する第1光束合成手段と、該第1光束合成手段により合成された光束を2方向に分割する光束分割手段と、該光束分割手段により分割された一方の光束の光路長を変化させる光路長可変手段と、該光路長可変手段の位置を検出する位置検出手段と、前記光束分割手段により分割された他方の光束を被検レンズに導く導光手段と、前記光路長可変手段により光路長を変化させられた光束と被検レンズを構成するレンズの面により反射された光束とを合成する第2光束合成手段と、該第2光束合成手段により合成された干渉光の強度信号を検出する光電検出器と、前記位置検出手段の出力と前記光電検出器の出力とを演算処理する演算処理手段とを備えたことを特徴とするレンズ面間隔測定装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  G01B 11/02

FI (2件)：

G01M 11/00 L ,  G01B 11/02 G

Fターム (31件)：

2F065AA22 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065DD05 ,  2F065DD19 ,  2F065FF52 ,  2F065GG01 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL17 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065NN06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS13 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07 ,  2G086FF01 ,  2G086FF02 ,  2G086FF06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 面間隔測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154540   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光学部材の検査用干渉計装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-130040   出願人：富士写真光機株式会社