光学的エラーを補償する露光装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-568136
公開番号（公開出願番号）：特表2003-527641
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：

【要約】本発明は電子的に記憶された版下の画像を敷物、特に印刷版1に露光する露光装置に関するものであり、画像データが記憶できる画像処理電子装置2と、画像処理電子装置2で電子的に制御できる光変調器7、特にLCD画面7またはマイクロミラーアレイと、光変調器7を照明する照明装置8,9と、光変調器7を敷物1に投影する投影レンズ11とで構成される。本発明によると、露光装置の光線路の光学的エラーおよび/または誤差を補償する補償装置4,5を含む画像処理電子装置2によって装置が改善される。

請求項（抜粋）：

敷物、特に印刷板(1)上に電子的に記憶された版下の画像を露光する露光装置であって、画像データが記憶可能な画像処理電子装置(2)と、画像処理電子装置(2)によって電子制御可能な光変調器(7)、特にLCD画面(7)またはマイクロミラーアレイと、光変調器(7)を照明する照明装置(8、9)と、光変調器(7)の画像を敷物(1)上に投影する投影レンズとを有する露光装置において、画像処理電子装置(2)には、露光装置の光線路の光学的エラーおよび/または誤差を補償する補償装置(4,5)が含まれることを特徴とする。

IPC (3件)：

G03F 7/20 511 , G02B 26/08 , G03B 27/32

FI (3件)：

G03F 7/20 511 , G02B 26/08 E , G03B 27/32 G

Fターム (9件)：

2H041AA14 , 2H041AA18 , 2H041AB14 , 2H097AB07 , 2H097BB01 , 2H097LA01 , 2H106AA46 , 2H106AA77 , 2H106AA78

引用特許：

審査官引用 (4件)

画像印刷装置及び画像印刷システムにおける光不均一性補正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-331792 出願人：イーストマンコダックカンパニー
シェーディング補正方法及び写真プリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-183524 出願人：富士写真フイルム株式会社
露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-216316 出願人：株式会社ニコン

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