特許
J-GLOBAL ID：200903084180999080
分子結合剤によってキャリヤ基板に結合された圧電材料の薄層中で案内される表面弾性波のためのデバイスおよび製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592934
公開番号（公開出願番号）：特表2002-534886
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：
【要約】本発明は、圧電材料の薄層と分子結合剤の層とキャリヤ基板とを含む表面弾性波デバイスに関する。薄層は、デバイスの性能特性を増大させる音響エネルギーガイドを構成する。本発明はまた、特に、キャリヤ基板と圧電基板の間での分子結合のステップ、次いで圧電基板の厚さを縮小するためのステップを含む、弾性波デバイスを製造するための方法に関する。
請求項（抜粋）：
表面弾性波を生成する手段と、弾性波がその中で案内される圧電材料の薄層とを含む表面弾性波デバイスであって、キャリヤ基板と、圧電材料の薄層がそれによってキャリヤ基板に結合される分子結合剤の層とを含むことを特徴とする表面弾性波デバイス。
IPC (5件)：
H03H 9/25
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, H03H 3/08
H03H 9/25 C
, H03H 9/25 A
, H03H 3/08
, H01L 41/08 U
, H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 A
, H01L 41/22 Z
5J097AA29
, 5J097EE10
, 5J097FF02
, 5J097FF05
, 5J097FF07
, 5J097HA03
, 5J097KK09
