特許

J-GLOBAL ID：200903084253171558

走査型近視野原子間力顕微鏡

発明者： 梅基 毅 ,  村松 宏
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032396
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229948
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 プローブのたわみ測定が容易で調整も簡単な走査型近視野原子間力顕微鏡を実現する。【解決手段】 先端部が先鋭でかつ透過孔を有する鈎状をしたプローブ1に水晶振動子3をとりつけ、プローブのたわみを水晶振動子3に設けられた電極を通して電気的に検出することにより、試料2表面の測定が可能な走査型近視野原子間力顕微鏡とした。

請求項（抜粋）：

先端部が尖っており、かつ先端部に光を透過する透過孔を有する、鈎状の形状をした光伝搬体からなるプローブ(1)を有し、前記プローブ(1)の先端部と測定すべき試料(2)表面との間隔を、前記プローブ(1)の先端部と前記試料(2)表面との間に原子間力が作用する動作距離以内に近づけた状態で、前記試料(2)表面を走査することにより、前記試料(2)表面の形状と、前記試料(2)表面の微小領域における光学的性質を同時に測定するための走査型近視野原子間力顕微鏡において、前記プローブ(1)と一体に形成され、電極(5)を有する圧電体(3)と、前記圧電体(3)を共振周波数で前記試料(2)表面に対して垂直方向に振動させるための励振手段(4、6)と、前記プローブ(1)の先端と試料(2)表面との間に前記原子間力が作用した結果生じる前記圧電体(3)の共振特性の変化を、前記圧電体(3)の電気的特性変化として検出するための検出手段(6、7)と、前記検出手段(6、7)が出力する検出信号に基づいて前記プローブ(1)の先端部と試料(2)表面の間隔を一定に保つための制御手段(13)と、を有することを特徴とする走査型近視野原子間力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z ,  H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-309803
  
• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111776   出願人：株式会社東芝